低溫多晶矽薄膜電晶體液晶平面顯示器（LTPSTFTLCD），指其TFT中半導體薄膜的結晶形態是多結晶（Polycrystalline）,并非是非結晶（AMORPHOUS）。

  LTPSTFTLCD的特點：

  1、載體的移動度為非晶矽的300倍 2、低耗電 3、高亮度 4、高解析度 5、輕薄短小 6、高品質 7、完美的系統整合

  LTPS技術所需要的環境需要絕對的無塵，通過ISO14644-1標準定義，我們根據制程的需要分為千級無塵室和百級無塵室。

 

  ISO14644-1的標準

  有機物細菌會在環境中急速的繁衍，大概在0.1un-0.3um粒徑并且會附著在灰塵顆粒上，當我們在整個制程中不加以控制細菌繁衍或灰塵時，當有機物細菌大到一定程度會成為導體，對LTPS的損傷是致命的，損失也是相當慘重的。

  該如何有效控制灰塵或者有機物細菌呢？

  采用空調過濾系統+無塵室系統

  空調過濾系統布局圖

  無塵室系統

  采用風淋系統+FFU等凈化無塵設備搭配使用，若對靜電有嚴格要求，還應在進入無塵室區域前段加裝防靜電測試儀和無塵洗手烘干機。

  百級無塵室控制的灰塵顆粒粒徑在0.1-0.12um,千級無塵室控制灰塵顆粒粒徑在0.3um,控制的數量參考ISO14644-1.

  那么在無塵系統中是不是換氣次數約多越好？

  總體上看換氣次數越多，對整個無塵環境的等級控制會變好，但是我們在關注換氣次數的同時會忽略另外一個參數----流速！

  在百級無塵室中，流速決定了高效過濾器對灰塵或者有機物細菌的捕捉方式，也會影響到捕捉效果，一般設定的流速為0.35-0.65m/s之間，是高效過濾器抓捕效率最高的流速段，所以在調整整個無塵環境換氣次數時，不應超出這個流速范圍！

  建議使用多組設備配套，推薦設備：

 交流FFU            節能FFU            風淋室  

     貨淋室            有隔板高效過濾器       無隔板高效過濾器 

  無塵室吸塵器         傳遞窗           潔凈工作臺